[发明专利]微流体温度场测量装置及用该装置测微流体温度场的方法

摘要

本发明公开了一种微流体温度场测量装置，包括光源，其特点是还包括起偏器、聚光镜、半透半反射棱镜、偏振分光棱镜、物镜、四分之一波片、检偏器和CCD，光源射出的光束通过起偏器变成偏振光，再经过聚光镜会聚成平行光，该光线经过半透半反射棱镜，反射至偏振分光棱镜后被剪切成两束光；这两束光通过物镜射到微流体芯片上，再按照原方向反射，通过物镜、偏振分光棱镜、半透半反射棱镜、四分之一波片、检偏器，最终成像在CCD靶面上。由于采用共光路光学系统，消除了外界因素对光路的干扰，减少了测量误差。本发明方法采用相移干涉测量方法，使得温度测量误差由现有技术的3℃提高到0.1℃；空间分辨率由现有技术的毫米级提高到微米级。

主权项

1.一种微流体温度场测量装置，包括光源，其特征在于：还包括起偏器、聚光镜、半透半反射棱镜、偏振分光棱镜、物镜、四分之一波片、检偏器、CCD，光源射出的光束通过起偏器起偏，变成偏振光，再经过聚光镜，会聚成平行光同时消除光线中的杂散光；该光线经过半透半反射棱镜，反射至偏振分光棱镜，偏振分光棱镜将该光束剪切成振动方向正交的两束光；这两束光通过物镜，汇聚成两束平行光，该平行光分别射到微流体芯片的不同位置，再按照原方向反射出去，通过物镜、偏振分光棱镜合成为一束光线；该光线穿过半透半反射棱镜、四分之一波片、检偏器，最终成像在CCD靶面上。