[发明专利]影像显示系统的薄膜晶体管的结构与制造方法

摘要

本发明是有关一种影像显示系统的薄膜晶体管的结构与制造方法。该薄膜晶体管结构，其包含：一基板；一第一多晶硅岛，设置于该基板上；一栅极绝缘层，设置于该基板上，并覆盖该第一多晶硅岛；一第一多晶硅栅极，设置在该第一多晶硅岛上的该栅极绝缘层上；其中该第一多晶硅岛包含一第一源极与一第一漏极；以及其中该第一多晶硅岛不具有沟道离子掺杂。薄膜晶体管结构藉由以一较长波长的激光光源照射一非晶硅层，穿透非晶硅层与下方的栅极绝缘层，到达下方非晶硅岛，同时使非晶硅层、非晶硅岛分别再结晶成为多晶硅与微晶硅晶格，此外前者图案化后形成多晶硅栅极，后者掺杂后形成源极与漏极，可使制造过程简化，多晶硅栅极结构与绝缘层的介面性质较佳、临界电压较轻易调整。

主权项

1、一种影像显示系统的薄膜晶体管的制造方法，其特征在于该方法包含以下步骤：提供一基板，该基板定义有一第一区域；在该基板上方形成一第一非晶硅层；图案化该第一非晶硅层于该第一区域形成一第一非晶硅岛；形成一栅极绝缘层覆盖该基板、该第一非晶硅岛；形成一第二非晶硅层覆盖该栅极绝缘层；以波长大于400奈米的激光光源，执行一激光回火制造过程，使得该第二非晶硅层、该第一非晶硅岛同时再结晶为一第二多晶硅层、一第一多晶硅岛；图案化该第二多晶硅层，在第一多晶硅岛上方形成一第一多晶硅栅极；以及其中第一多晶硅岛不具有沟道离子掺杂。