[发明专利]蓝宝石衬底抛光液及其制作方法无效
| 申请号： | 200710186121.X | 申请日： | 2007-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101469251A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 丁玉辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市方大国科光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B29/02 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郭伟刚 |
| 地址： | 518055广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种蓝宝石衬底抛光液及其制备方法，在正常室温条件下，其成分和重量比组成如下：乙二醇：160～190；多晶微粉：1～3。实施本发明的蓝宝石抛光液，在相应的抛光工艺条件下进行抛光，可实现蓝宝石衬底材料表面的高精密加工，并能满足工业上对蓝宝石衬底片CMP精密加工的要求。本发明具有成本低、低粗糙、高速率、不污染环境及腐蚀设备的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 抛光 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种蓝宝石衬底抛光液，其特征在于，在正常室温条件下，其成分和重量比组成如下：乙二醇：160～190；多晶微粉：1～3。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市方大国科光电技术有限公司，未经深圳市方大国科光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710186121.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：什锦风味醋的生产方法
- 下一篇：从银杏叶中提取分离白果内酯的方法
