[发明专利]真空泵的运行控制设备及方法有效
| 申请号： | 200710182128.4 | 申请日： | 2007-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN101144470A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 中山贵光;佐藤和昭 | 申请（专利权）人： | 阿耐思特岩田株式会社 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 曲莹 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了真空泵的运行控制设备及方法，以便消除在引入真空传感器和/或逆变器控制的情况下的难度。本发明涉及多组真空泵的控制。为了遵照克服这些困难的主题，本发明提出运用电流检测方法代替直接的压力检测方法，同时显示了在运行泵时如何判断所获得的真空度以及介绍了关于控制泵数量的方法。还描述了电流检测装置、真空度判断装置、工作泵控制装置和相关方法如何相联以满足本主题。还揭示了本发明的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 运行 控制 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于使至少一个柜和/或腔等内部的气体减压的多个真空泵的运行控制设备，包括：电流检测装置，其检测在驱动真空泵的电机中流动的电流；和控制装置，其基于由所述电流检测装置检测的电流值收敛于预定范围之内的情形，判断是否达到目标真空和/或大体上真空状态，以减少运行的真空泵的数量。
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