[发明专利]真空泵的运行控制设备及方法

权利要求书

1.一种用于使至少一个柜和/或腔等内部的气体减压的多个真空泵的运行控制设备，包括：

电流检测装置，其检测在驱动真空泵的电机中流动的电流；和

控制装置，其基于由所述电流检测装置检测的电流值收敛于预定范围之内的情形，判断是否达到目标真空和/或大体上真空状态，以减少运行的真空泵的数量。

2.如权利要求1所述的运行控制设备，其中，控制装置还包括真空度判断装置，其在所监视的电机的电流值达到预定范围时，判断达到门限标准值，所述门限标准值在目标真空值之前预先确定，以及在达到门限标准值之后，在电流值在预定范围之内保持一段预定时间间隔时的情况下断定达到所述目标真空值；其中当真空度判断装置断定达到预定范围之内的门限标准数值或目标真空值时，减少运行的泵的数量。

3.如权利要求1所述的运行控制设备，其中，随着真空泵的运行时数的累计，预定范围之内的目标真空值被重置在下限值。

4.如权利要求2所述的运行控制设备，其中，运行控制设备还包括泵运行控制装置；所述泵运行控制装置指定多个泵中的一个作为所监视的泵，当所述真空度判断装置基于驱动所监视的泵的电机的电流值，断定达到预定范围之内的所述门限标准值或所述目标真空值时，停止除所监视的泵之外的至少一个泵，以及在所有泵之间均匀地一个接一个转换所监视的泵。

5.如权利要求4所述的运行控制设备，其中，在任一真空泵不能或难以运行的情况下，跳过不能或难以运行的泵的运行，指定下一个其它泵作为所监视的泵。

6.一种用于使至少一个柜和/或腔内部的气体减压的多个真空泵的运行控制方法，包括下列步骤：

检测流入驱动真空泵的电机中的电流；和

基于由所述电流检测装置检测的电流值收敛于预定范围之内的情形判断是否达到目标真空和/或大体上真空状态，以减少运行的真空泵的数量。

7.如权利要求6所述的运行控制方法，还包括下列步骤：指定多个泵中的一个作为所监视的泵；在所监视的电机的电流值达到预定范围时，判断达到门限标准值，所述门限标准值在目标真空值之前预先确定；在达到门限标准值之后，在电流值在预定范围之内保持一段预定时间间隔时的情况下断定达到所述目标真空值；在基于驱动所监视的泵的电机的电流值，断定达到预定范围之内的所述门限标准值和/或所述目标真空值时，停止除所监视的泵之外的至少一个泵；和在所有泵之间均匀地一个接一个转换所述监视的泵为下一个其它泵。