[发明专利]用于压印平版印刷术的方法和系统无效
| 申请号： | 200710180191.4 | 申请日： | 2007-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN101183214A | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | T·G·范克赛尔;Y·C·马丁;M·E·卡尔伯恩;D·菲弗 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范莉 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种压印平版印刷的方法(和装置)，包括通过具有图形的掩模将图形压印在基板上的抗蚀剂层中；以及使覆层覆盖在压印的抗蚀剂层上面。覆层的一部分用作硬掩模，用于随后的处理。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压印 平版 印刷术 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种压印平版印刷的方法，包括：通过具有图形的掩模将图形压印在基板上的抗蚀剂层中；以及使覆层覆盖在所述压印的抗蚀剂层上面；其中，覆层的一部分用作硬掩模，用于随后的处理。
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