[发明专利]一种WS2/MoS2固体润滑多层膜及其制备方法有效
| 申请号： | 200710175460.8 | 申请日： | 2007-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101398123A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 王海斗;徐滨士;朱丽娜;康嘉杰;庄大明;张弓;李国禄;刘家浚 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军装甲兵工程学院 |
| 主分类号： | F16N15/00 | 分类号： | F16N15/00;C10M103/06;B32B33/00;C23F17/00;C21D1/18;C23C14/16;C23C14/34;C23C8/36;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程凤儒 |
| 地址： | 100072北京市丰台*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种WS2/MoS2固体润滑多层膜及其制备方法，其是在基体上通过双靶射频溅射交替沉积W层和Mo层制成W/Mo多层膜，然后通过低温离子渗硫该W/Mo多层膜制成的。本发明利用两步法复合处理制备了新型固体润滑薄膜—WS2/MoS2固体润滑纳米多层膜，其各子层厚度相同且硫元素在多层膜内分布均匀，使其在纳米力学性能及减摩耐磨等方面与现有的纳米多层膜相比具有较高的硬度、良好的纳米性能、弹性模量及屈服强度，实用性更强，减摩耐磨性能优异。本发明WS2/MoS2固体润滑多层膜可用于机械装备各种摩擦表面，尤其是精密配合表面减轻摩擦，改善润滑条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ws sub mos 固体 润滑 多层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种WS2/MoS2固体润滑多层膜，其特征在于，其是在基体上通过双靶射频溅射交替沉积W层和Mo层制成W/Mo多层膜，然后通过低温离子渗硫该W/Mo多层膜制成的。
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