[发明专利]一种使用实时环境补偿方法的超精密双频干涉测量系统有效
| 申请号： | 200710172428.4 | 申请日： | 2007-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101206108A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 张晓文;池峰;陈勇辉;陈飞彪 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种使用实时环境补偿方法的超精密双频干涉测量系统能够用于超精密双频干涉测量的实时环境补偿方法，只需要在传统的双频干涉测量的基础上增加一个干涉仪和相关的接收元件即可，无需其它的额外设备，使用简单，计算方便，费用低廉，实时性好，且对激光器频差不稳定所引起的稳频误差也具有良好的补偿效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 实时 环境 补偿 方法 精密 双频 干涉 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种使用实时环境补偿方法的超精密双频干涉测量系统，包括：激光器；测量干涉仪；被测物体；第一光电接收元件；第一计数电路；所述激光器发出的光束进入所述测量干涉仪后照射所述被测物体反射回到所述测量干涉仪，经过所述测量干涉仪的干涉的光束经所述第一光电接收元件转换后进入所述第一计数电路，所述激光器、测量干涉仪、第一光电接收元件、第一计数电路构成测量光路；其特征在于，还包括：补偿分光镜；测量补偿干涉仪；参考镜；第二光电接收元件；第二计数电路；和环境补偿电路；所述补偿分光镜将测量光束分出一部分进入所述补偿干涉仪后经过所述参考镜的反射回到所述补偿干涉仪，经过所述补偿干涉仪的干涉光束经所述第二光电接收元件转换后进入所述第二计数电路，所述第一计数电路和所述第二计数电路的输出信号输入所述环境补偿电路。
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