[发明专利]图案转录装置和该图案转录装置的底板的制造方法有效
| 申请号： | 200710169245.7 | 申请日： | 2007-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN101236355A | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 南承熙;金南国;柳洵城;张允琼 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F1/00 | 分类号： | G03F1/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了图案转录装置和该图案转录装置的底板的制造方法。该图案转录装置包括：底板，其包括凹部、凸部和印刷阻挡物，所述印刷阻挡物形成在所述凹部的底面上；以及敷层，其上涂覆有抗蚀材料层，该敷层可以在所述底板上滚动，其中，所述敷层的表面能量密度大于所述印刷阻挡物的表面能量密度并且小于所述底板的表面能量密度。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 转录 装置 底板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种图案转录装置，该图案转录装置包括：底板，其包括凹部、凸部和印刷阻挡物，所述印刷阻挡物形成在所述凹部的底面上；以及敷层，其上涂覆有抗蚀材料层，该敷层可以在所述底板上滚动，其中，所述敷层的表面能量密度大于所述印刷阻挡物的表面能量密度并且小于所述底板的表面能量密度。
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
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G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
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