[发明专利]液滴喷头及其制造方法、液滴喷出装置及其制造方法无效
| 申请号： | 200710162424.8 | 申请日： | 2007-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101157301A | 公开（公告）日： | 2008-04-09 |
| 发明（设计）人： | 小松洋;坂下友树 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16;B41J2/045 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种不使结构复杂地有效防止电不合适现象的液滴喷头、液滴喷出装置、液滴喷头的制造方法及液滴喷出装置的制造方法。液滴喷头(100)，具备：空腔衬底(3)，其底壁形成振动片(8)，并形成有用于贮存液滴并使其喷出的喷出室(7)；和电极衬底(4)，其与振动片(8)相隔间隙(18)地对置，形成有用于驱动振动片(8)的分立电极(17)，搭载有与分立电极(17)连接的用于向分立电极(17)施加电压的驱动器IC(15)。在空腔衬底(3)上，贯通地形成用于收容驱动器IC(15)的第1开口(贯通孔24)，在第1开口的壁面上形成了SiO2膜(83)。 | ||
| 搜索关键词： | 喷头 及其 制造 方法 喷出 装置 | ||
【主权项】：
1.一种液滴喷头，其特征是，具备：空腔衬底，其形成有喷出室，所述喷出室的底壁成为振动片；电极衬底，其与所述振动片相隔间隙而对置，形成有用于驱动所述振动片的分立电极，搭载有与所述分立电极连接的用于向所述分立电极施加电压的驱动器IC，在所述空腔衬底上贯通形成有用于收容所述驱动器IC的第1开口，在所述第1开口的壁面上形成了绝缘膜。
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