[发明专利]大流体输送装置有效
申请号: | 200710147260.1 | 申请日: | 2007-08-30 |
公开(公告)号: | CN101377193A | 公开(公告)日: | 2009-03-04 |
发明(设计)人: | 陈世昌;郑江河;余荣侯;蔡志宏;邱士哲 | 申请(专利权)人: | 研能科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B43/04 | 分类号: | F04B43/04 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 任永武 |
地址: | 台湾省新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是一种大流体输送装置,其包含:阀体座,具有微凸结构;阀体盖体,具有压力腔室以及微凸结构;阀体薄膜,设置于阀体座及阀体盖体之间,具有至少一个阀开关结构,其杨氏系数是2GPa至240GPa,厚度是10μm至50μm,阀开关结构与微凸结构相抵触以形成一预作用力,使阀开关结构与阀体座及阀体盖体之间形成一间隙,其距离是10μm至790μm;以及致动装置,包含致动器以及振动薄膜;其中,当施以操作频率10Hz-50Hz于致动装置的致动器上,致动装置将致使压力腔室体积改变,进而驱动阀开关结构的启闭,以使流经压力腔室的流体达到5cc/min以上的大流量传输。 | ||
搜索关键词: | 流体 输送 装置 | ||
【主权项】:
1.一种大流体输送装置,用以传送一流体,其特征在于包含:一阀体座,其具有一微凸结构;一阀体盖体,其设置于该阀体座上,且具有一压力腔室以及一微凸结构;一阀体薄膜,其设置于该阀体座及该阀体盖体之间,并具有至少一个阀开关结构;以及一致动装置,其包含一致动器以及一振动薄膜;其中,当施以操作频率10Hz-50Hz于该致动装置的该致动器上,该致动装置将致使该压力腔室体积改变,进而驱动该阀开关结构的启闭作用,以使流经该压力腔室的该流体达到5cc/min以上的大流量传输。
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