[发明专利]有机金属化合物有效
申请号: | 200710141351.4 | 申请日: | 2007-07-31 |
公开(公告)号: | CN101121733A | 公开(公告)日: | 2008-02-13 |
发明(设计)人: | D·V·舍奈-卡特克哈特;Q·M·王 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C07F19/00 | 分类号: | C07F19/00;C07F9/50;C23C16/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 沙永生 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供含有给电子基团取代的烯基配体的有机金属化合物。这类化合物特别适合用作气相沉积的前体。还提供了例如通过ALD法和CVD法,用此类化合物沉积薄膜的方法。 | ||
搜索关键词: | 有机 金属 化合物 | ||
【主权项】:
1.一种有机金属化合物,具有以下化学式:(EDG(CR1R2)y’-CR3=CR4-(CR5R6)y”)nM+mL1 (m-n)L2 p,式中,R1和R2各自独立地选自H、(C1-C6)烷基和EDG;R3=H、(C1-C6)烷基、EDG或EDG-(CR1R2)y’;R4=H或(C1-C6)烷基;R5和R6各自独立地选自H和(C1-C6)烷基;EDG是给电子基团;M=金属;L1=阴离子型配体;L2是中性配体;y’=0-6;y”=0-6;m=M的价数;n=1-7;和p=0-3。
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