[发明专利]抛光垫和化学机械抛光装置无效
| 申请号： | 200710141091.0 | 申请日： | 2007-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN101125419A | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 崔宰荣 | 申请（专利权）人： | 东部高科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24D17/00 | 分类号： | B24D17/00;B24B29/00;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 夏凯;钟强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种抛光垫和化学机械抛光装置。该抛光垫包括由具有预定尺寸的沟槽形成的多个图形，并且可以包括用于浆体流动的凹槽。该多个图形可以包括以同心行形式的人字形沟槽，其中人字形沟槽的行方向交替。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 化学 机械抛光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫，包括：第一图形，包括由在抛光垫材料中形成的在第一接点处连接的两个沟槽构成的人字形图形，其中所述第一接点朝向旋转的方向；以及第二图形，包括由抛光垫材料中形成的在第二接点处连接的两个沟槽构成的人字形图形，其中所述第二接点朝向与第一接点相反的方向。
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