[发明专利]用于表征器件自加热的结构和方法有效
| 申请号： | 200710140228.0 | 申请日： | 2007-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN101183398A | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 王平川;G·拉罗莎;K·W·克尔芬巴赫;P·A·海德 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L27/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 于静;李峥 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于表征器件自加热的结构和方法。本方法包括确定给定器件的多晶栅极温度和确定监测器件的沟道温度。本方法还包括外推所述监测器件的沟道温度以获得所述给定器件的沟道温度。基于所述多栅极温度和所述沟道温度确定所述给定器件的温度差(ΔT值)。器件包括具有在其每一个端处具有至少一个接触的多晶栅极的加热器件和与加热器件间隔已知距离的多个监测器件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表征 器件 加热 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括以下步骤：确定给定器件的多晶栅极温度；确定监测器件的沟道温度；外推所述监测器件的沟道温度以获得所述给定器件的沟道温度；以及基于所述多晶栅极温度和所述沟道温度确定所述给定器件的温度差(ΔT值)。
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