[发明专利]压电振子的制造方法

摘要

本发明的目的在于提供一种当在振动臂部的前端部形成频率调整用的金属膜时，能够节约金属并增大频率的调整幅度，由此能够抑制成品率下降的压电振子的制造方法。作为具体的解决手段，使形成有压电振动片的外形部分的基板与蚀刻液接触，使用在与上述槽部对应的部位具有开口部、并且在这些开口部以外的表面整体上形成有金属膜的掩模，在多个振动臂部上分别形成槽部，然后，在基板的表面上形成抗蚀剂掩模，使得抗蚀剂残留在成为频率调整用的金属膜的形成区域的上述振动臂部的前端部分，利用蚀刻将金属膜除去。然后，在将在上述振动臂部的前端部分残留的抗蚀剂膜剥离之后，形成电极膜。

主权项

1.一种压电振子的制造方法，通过对压电基板进行蚀刻而制造多个压电振动片，该多个压电振动片包括基部、从该基部伸出的多个振动臂部、和在这些振动臂部的各个上形成的槽部，其特征在于，包括：得到形成有压电振动片的外形部分和槽部、并且所述槽部以外的部位由金属膜覆盖的压电振动片的工序；在所述压电基板的表面形成抗蚀剂掩模，使得成为频率调整用的金属膜的形成区域的所述振动臂部的前端部分被覆盖而其它部位露出，并将露出的金属膜除去的工序；除去所述抗蚀剂掩模，在压电振动片的外形部分的整个面上形成用于形成电极的金属膜的工序；在所述金属膜的表面形成新的抗蚀剂掩模并对金属膜进行蚀刻，由此形成电极图案的工序；和除去所述新的抗蚀剂掩模，对在所述振动臂部的前端部分形成的频率调整用的金属膜进行削去，通过调整其厚度而调整振动频率的工序。