[发明专利]激光加工方法及激光加工装置有效
| 申请号： | 200710136115.3 | 申请日： | 2007-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN101134267A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 荒井邦夫;北泰彦;伊藤靖 | 申请（专利权）人： | 日立比亚机械股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够高效加工形状精度优越的孔的激光加工方法及激光加工装置。将用于修正镜(1a)或/及镜(1b)的反射面的变形的柱面透镜(50a)或/及柱面透镜(50b)配置在激光束(20)的光轴上，使激光束(20)的X成分和Y成分的聚光位置与光轴方向一致。代替柱面透镜，使用反射面为曲面的反射镜也可以。作为使激光束(20)的X成分和Y成分的聚光位置在光轴方向上一致的方法，可以使X成分和Y成分双方与设计位置(Fa)一致，也可以不修正一方，而使另一方与不修正的一方一致。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工方法，利用旋转轴线为X方向的X镜和旋转轴线为Y方向的Y镜来定位激光并使其入射到聚光透镜，再利用聚光后的激光进行加工，其特征在于，设有修正上述X镜或上述Y镜的反射面的曲率的光学单元；将上述光学单元配置在上述激光的光轴上；使上述激光的X方向和Y方向的聚光位置在光轴方向上一致。
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