[发明专利]利用四氯化硅对生产多晶硅所产生的尾气进行回收的方法

摘要

利用四氯化硅对生产多晶硅所产生的尾气进行回收的方法，用液态的四氯化硅对尾气进行淋洗，对淋洗之后的尾气进行加压和冷却，用吸收剂将氢气与氯化氢和二氯二氢硅分离；利用吸附剂吸附和滤除，可回收氢气，然后对吸附剂内的氯化氢和氯硅烷进行加热，用氢气将气态氯化氢和氯硅烷带出，进入尾气循环回收；对液态四氯化硅进行升温和/或加压，使氯化氢和二氯二氢硅被解吸出来；再利用气液分离，回收氯化氢和/或二氯二氢硅。本发明采用干法处理尾气，并可再用于多晶硅生产中，原料得以充分的利用，减少了污染物，解决了环境污染问题，提高了产品质量，降低了成本。

主权项

1、利用四氯化硅对生产多晶硅所产生的尾气进行回收的方法，所述尾气主要包括氢气、氯化氢、和氯硅烷，所述氯硅烷主要包括二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，所述方法包括以下步骤：用液态的四氯化硅对尾气进行淋洗，去处尾气中的杂质并吸收部分的氯化氢和氯硅烷；对淋洗之后的尾气进行加压和冷却，以便使所述三氯氢硅和四氯化硅变为液态而所述氢气、氯化氢、二氯二氢硅保持为气态，从而通过气液分离将气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅与液态的三氯氢硅和四氯化硅分离；使气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅通过液态的四氯化硅，以便使气态的氯化氢和二氯二氢硅溶解于液态的四氯化硅中，从而将氢气与氯化氢和二氯二氢硅分离；利用吸附剂吸附和滤除氢气中残余的气态氯化氢和氯硅烷，从而将氢气与所述残余的氯化氢和氯硅烷分离，由此回收氢气；对被吸附在吸附剂内的氯化氢和氯硅烷进行加热，且利用氢气将加热后的气态氯化氢和氯硅烷从吸附剂内带出并返回到尾气中；对溶解了氯化氢和二氯二氢硅的液态四氯化硅进行升温和/或加压，使氯化氢和二氯二氢硅从液态吸收剂中被解吸出来；通过控制解吸出来的气态的氯化氢和二氯二氢硅的压力和/或温度使二氯二氢硅变为液态，从而分离氯化氢与二氯二氢硅，由此回收氯化氢和/或二氯二氢硅。