[发明专利]一种分配和评估三氯氢硅或四氯化硅供应系统的控制管路

摘要

一种分配和评估三氯氢硅或四氯化硅供应系统的控制管路，它包括：分配三氯氢硅或四氯化硅供应系统的控制管路；一条用于连接插入三氯氢硅或四氯化硅液罐中的H₂气压入管路的管路；一条用于连接以下两条管路的管路，被连接的管路是插入三氯氢硅或四氯化硅液罐底部的管路和三氯氢硅或四氯化硅液体进入鼓泡器的管路，上述的H₂气管路的一部分管线借用了将三氯氢硅或四氯化硅液体送入鼓泡罐的管路；一条用于连接鼓泡器的H₂鼓泡的管路；一条用于连接鼓泡器的导出气化三氯氢硅或四氯化硅的管路，同时该管路与工艺腔进气管道连接。本发明优点是：可以满足将液罐内的液体送入鼓泡器、以液罐作为鼓泡器检验三氯氢硅或四氯化硅质量、本系统管路具有吹扫、抽真空等功能，可以保证气体使用的安全性，可用于其它的薄膜工艺中H₂携带TCS或SiCl₄的供应。

主权项

1、一种分配和评估三氯氢硅或四氯化硅供应系统的控制管路，其特征在于：它包括：分配三氯氢硅或四氯化硅供应系统的控制管路；一条用于连接插入三氯氢硅或四氯化硅液罐中的H2气压入管路的管路；一条用于连接以下两条管路的管路，被连接的管路是插入三氯氢硅或四氯化硅液罐底部的管路和三氯氢硅或四氯化硅液体进入鼓泡器的管路，上述的H2气管路的一部份管线借用了将三氯氢硅或四氯化硅液体送入鼓泡罐的管路；一条用于连接鼓泡器的H2鼓泡的管路；一条用于连接鼓泡器的导出气化三氯氢硅或四氯化硅的管路，同时该管路与工艺腔进气管道连接。