[发明专利]促动器及其制造方法以及打印头有效
申请号: | 200710102534.5 | 申请日: | 2003-10-17 |
公开(公告)号: | CN101070005A | 公开(公告)日: | 2007-11-14 |
发明(设计)人: | 由宇喜裕;高桥大辅;东别府诚;植木千岁;会田比吕史 | 申请(专利权)人: | 京瓷株式会社 |
主分类号: | B41J2/045 | 分类号: | B41J2/045;B41J2/14;B41J2/16;H01L41/187;H01L41/24 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 朱丹 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种促动器,和其制造方法以及打印头,所述促动器在陶瓷基板(2)的表面上设有由压电陶瓷层(4)和夹持该压电陶瓷层(4)的一对电极(5、6)构成的位移元件(7),且其总厚度为100μm以下,所述压电陶瓷层(4)和所述基板(2)以至少含Pb、Zr以及Ti的钙钛矿型结晶作为主成分,且所述压电陶瓷层(4)的表面和所述基板(2)内部的组成比Pb/(Ti+Zr)的最大差是0.02以下。根据本发明,可使特性偏差小。 | ||
搜索关键词: | 促动 及其 制造 方法 以及 打印头 | ||
【主权项】:
1.一种促动器,由陶瓷基板、和设置在该基板表面上的多个位移元件构成,该位移元件由压电陶瓷层和夹持该压电陶瓷层的一对电极构成,所述压电陶瓷层由至少含Pb、Zr以及Ti的钙钛矿型化合物构成,且该钙钛矿型化合物的晶格常数比c/a是1.013~1.016,其总厚度为100μm以下。
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