[发明专利]光波导器件及其制造方法无效
| 申请号： | 200710101939.7 | 申请日： | 2007-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101063729A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 渡边真也 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B6/136;G02B6/13 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙志湧;陆锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种包括光波导部分和光子器件安装部分的光波导器件。在高温退火后对掩模进行构图以形成其上安装有发光器件的基座块。因此，即使在制造工艺期间该器件在高温下经受热处理，对掩模也没有影响。这使得能够形成高精度的基座块。因此，在基座块上安装发光器件时能够实现高精度的光学耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光波导器件，包括：光波导部分，其包括：形成在基板上的下覆层；形成在所述下覆层上的芯层；和形成在所述芯层的上覆层；和光子器件安装部分；和光子器件，其安装在所述光子器件安装部分上并光学地连接至所述光波导部分的端面，其中至少所述芯层包括等离子化学气相淀积(CVD)膜。
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