[发明专利]具有带突出部的尾屏蔽件的垂直磁记录写头及其制造方法

摘要

本发明涉及具有写极、梯形尾屏蔽件突出部、以及写极与突出部之间的金属间隙层的垂直磁记录写头。写极具有尾边缘，尾边缘具有基本定义道宽的宽度且面对突出部的前边缘但与其通过间隙层分隔开。写头通过这样的工艺制造，该工艺包括写极之上薄掩模膜的反应离子束蚀刻从而去除掩模膜并在写极边缘处加宽开口。间隙层和突出部沉积到写极之上的加宽的开口中。写极具有非磁填充材料例如氧化铝，围绕写极，但其尾边缘处除外，在该尾边缘处其接触间隙层，间隙层由与围绕的填充材料不同的材料形成。

主权项

1.一种用于磁化磁记录层的数据道中的区域的垂直磁记录写头，包括：磁写极，具有面对所述记录层的基本平坦的末端、以及基本垂直于沿道方向取向且具有用于定义写极道宽的跨道方向宽度的基本直的尾边缘，所述磁写极被非磁材料部分包围；尾屏蔽件，具有与所述写极末端基本共面的末端，所述尾屏蔽件具有与所述写极尾边缘间隔开的基本梯形的突出部，所述突出部具有面对所述写极尾边缘且宽度基本等于所述写极尾边缘的前边缘、以及显著宽于所述写极尾边缘的后边缘；以及非磁间隙材料层，填充所述写极尾边缘与所述尾屏蔽件突出部前边缘之间的空间，所述非磁间隙材料是与部分包围所述写极的所述非磁材料不同的材料。