[发明专利]相对于衍射光学部件移动射束以便减少干涉图案有效
| 申请号： | 200710097194.1 | 申请日： | 2007-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN101055429A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | H·威瑟;J·J·M·巴塞尔曼斯;P·W·H·德贾格;H·J·P·文克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01S3/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张亚宁;王小衡 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种系统和方法用来由至少部分相干的光束形成非相干光束，以使干涉或散斑图被基本消除。旋转光学元件引导部分相干的光束自角分布改变元件反射以此形成非相干光束。通过旋转光学元件的旋转，部分相干的光束以变动的角度或位置被引导到角分布改变元件上。所述角度作为时间的函数来变化。 | ||
| 搜索关键词： | 相对于 衍射 光学 部件 移动 以便 减少 干涉 图案 | ||
【主权项】：
1.一种系统，包含：辐射源，产生至少部分相干的光束；角分布改变元件；以及旋转光学元件，其被配置成可(a)接收来自所述辐射源的所述至少部分相干的光束以及(b)引导所述接收的部分相干的光束自所述角分布改变元件反射以此形成非相干光束，其中基于所述旋转光学元件的旋转速度，所述部分相干的光束以变动的角度或位置被引导到所述角分布改变元件，所述角度作为时间的函数来变化。
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