[发明专利]可变形镜及采用可变形镜的激光加工装置有效
| 申请号： | 200710096579.6 | 申请日： | 2007-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101290394A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 小林信高;竹野祥瑞 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G02B27/00;B23K26/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 史雁鸣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供一种具有多个驱动元件的可变形镜，自由度高，但是，结构复杂。其特征在于，可变形镜包括：在一侧具有反射面(1A)的反射镜(1)，在两个部位处固定到反射镜(1)的背面上的第一轴构件(4)，具有固定到反射镜(1)的背面(1B)上的两个腿(5B)、跨越前述第一轴构件(4)的第二轴构件(5)，使该第二轴构件(5)与前述第一轴构件(4)之间的距离变化的距离变更机构(2)，连接固定第一轴构件(4)的部位的线段与连接固定第二轴构件(5)的前述腿(5B)的部位的线段相互交叉。 | ||
| 搜索关键词： | 变形 采用 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种可变形镜，其特征在于，所述可变形镜包括：在一侧具有反射面的反射镜、在两个部位处固定到该反射镜的背面上的第一轴构件、具有固定到前述反射镜的背面上的两个腿且跨越前述第一轴构件的第二轴构件、使该第二轴构件与前述第一轴构件之间的距离变化的距离变更机构，将固定前述第一轴构件的部位连接起来的线段与将固定前述第二轴构件的前述腿的部位连接起来的线段相互交叉。
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