[发明专利]可变形镜及采用可变形镜的激光加工装置

权利要求书

1.一种可变形镜，其特征在于，所述可变形镜包括：在一侧具有反射面的反射镜、在两个部位处固定到该反射镜的背面上的第一轴构件、具有固定到前述反射镜的背面上的两个腿且跨越前述第一轴构件的第二轴构件、使该第二轴构件与前述第一轴构件之间的距离变化的距离变更机构，将固定前述第一轴构件的部位连接起来的线段与将固定前述第二轴构件的前述腿的部位连接起来的线段相互交叉。

2.一种可变形镜，其特征在于，所述可变形镜包括：在一侧具有反射面的反射镜、在两个部位处固定到该反射镜的背面上的第一轴构件、一端固定到该第一轴构件上且另一端固定到前述反射镜的背面上的第一及第二距离变更机构，将固定前述第一轴构件的部位连接起来的线段与将固定前述第一及第二距离变更机构的部位连接起来的线段相互交叉，前述反射镜的背面与前述第一轴构件之间的前述距离变更机构仅为两个，要将前述第一轴构件固定到前述反射镜的背面的部位配置在一条直线上。

3.一种可变形镜，其特征在于，所述可变形镜包括：在一侧具有反射面的反射镜、呈线状地固定到该反射镜的背面上的第一轴构件、具有固定到前述反射镜的背面上的两个腿且跨越前述第一轴构件的第二轴构件、使该第二轴构件与前述第一轴构件之间的距离变化的距离变更机构，固定前述第一轴构件的部位的线段与将固定前述第二轴构件的前述腿的部位连接起来的线段相互交叉。

4.一种可变形镜，其特征在于，所述可变形镜包括：在一侧具有反射面的反射镜、呈线状地固定到该反射镜的背面上的第一轴构件、一端固定到该第一轴构件上且另一端固定到前述反射镜的背面上的第一及第二距离变更机构，固定前述第一轴构件的部位的线段与将固定前述第一及第二距离变更机构的部位连接起来的线段相互交叉，前述反射镜的背面与前述第一轴构件之间的前述距离变更机构仅为两个，要将前述第一轴构件固定到前述反射镜的背面的部位配置在一条直线上。

5.如权利要求1所述的可变形镜，其特征在于，在将固定前述第一轴构件的部位连接起来的线段上、与将固定前述第二轴构件的前述腿的部位连接起来的线段的交点附近，也将前述第一轴构件固定在前述反射镜的背面上。

6.如权利要求2所述的可变形镜，在将固定前述第一轴构件的部位连接起来的线段上、与将固定前述第一及第二距离变更机构的部位连接起来的线段的交点附近，也将前述第一轴构件固定到前述反射镜的背面上。

7.如权利要求1～6中任何一项所述的可变形镜，其特征在于，在前述距离变更机构中采用压电致动器。

8.如权利要求1～6中任何一项所述的可变形镜，其特征在于，在前述距离变更机构中采用螺栓。

9.如权利要求1～6中任何一项所述的可变形镜，其特征在于，在前述距离变更机构中，采用在两侧设置螺距不同的螺栓的螺纹部件。

10.一种激光加工装置，具有将激光束起振的激光振荡器和从前述激光振荡器向被加工物传送激光束的加工光学系统，其特征在于，在前述加工光学系统中，具有如权利要求1～权利要求6中任何一项所述的可变形镜。

11.一种激光加工装置，具有将激光束起振的激光振荡器和从前述激光振荡器向被加工物传送激光束的加工光学系统，其特征在于，在前述加工光学系统中，具有如权利要求7所述的可变形镜。

12.一种激光加工装置，具有将激光束起振的激光振荡器和从前述激光振荡器向被加工物传送激光束的加工光学系统，其特征在于，在前述加工光学系统中，具有如权利要求8所述的可变形镜。

13.一种激光加工装置，具有将激光束起振的激光振荡器和从前述激光振荡器向被加工物传送激光束的加工光学系统，其特征在于，在前述加工光学系统中，具有如权利要求9所述的可变形镜。