[发明专利]可靠性测试的方法和装置无效
| 申请号： | 200710094529.4 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101458285A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 廖淼 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种可靠性测试的方法和装置，所述方法包括：同时对所有被测器件施加应力条件；在解除对前一被测器件施加的应力条件、测量其性能参数和记录其测量数据后，解除对后一被测器件施加的应力条件、测量其性能参数和记录其测量数据，其中，第一被解除应力条件的被测器件的应力条件解除时间为预定的应力作用时间点。所述方法是被测器件在被解除应力条件后，性能参数的退化没有恢复前就被测量，因此，可以得到更准确的测量结果。 | ||
| 搜索关键词： | 可靠性 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种可靠性测试的方法，其特征在于，包括下述步骤：同时对所有被测器件施加应力条件；在解除对前一被测器件施加的应力条件、测量其性能参数和记录其测量数据后，解除对后一被测器件施加的应力条件、测量其性能参数和记录其测量数据，其中，第一被解除应力条件的被测器件的应力条件解除时间为预定的应力作用时间点。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710094529.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种门框
- 下一篇：染色性优良的轻量纤维及生产方法
