[发明专利]可靠性测试的方法和装置无效
申请号: | 200710094529.4 | 申请日: | 2007-12-13 |
公开(公告)号: | CN101458285A | 公开(公告)日: | 2009-06-17 |
发明(设计)人: | 廖淼 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李 丽 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可靠性 测试 方法 装置 | ||
1.一种可靠性测试的方法,其特征在于,包括下述步骤:
同时对所有被测器件施加应力条件;
在解除对前一被测器件施加的应力条件、测量其性能参数和记录其测量数据后,解除对后一被测器件施加的应力条件、测量其性能参数和记录其测量数据,其中,
第一被解除应力条件的被测器件的应力条件解除时间为预定的应力作用时间点。
2.根据权利要求1所述的可靠性测试的方法,其特征在于,记录所述第一被解除应力条件的被测器件的测量数据包括记录被测器件的性能参数和测量时间,记录其它被测器件的测量数据包括记录被测器件的性能参数、测量时间和对应的应力作用时间。
3.根据权利要求2所述的可靠性测试的方法,其特征在于,
所述记录被测器件的测量时间是记录所述被测器件测量完后的时间点;
所述记录被测器件的对应的应力作用时间是将前一被测器件测量完后的时间点作为被测器件的对应的应力作用时间记录。
4.根据权利要求2所述的可靠性测试的方法,其特征在于,
所述记录被测器件的测量时间是记录测量所述被测器件所使用的时间;
所述记录被测器件的对应的应力作用时间是将该被测器件被解除应力条件之前的测量被测器件所使用的时间总和与预定的应力作用时间的和作为被测器件的对应的应力作用时间记录。
5.根据权利要求1所述的可靠性测试的方法,其特征在于,还包括:在完成对所有的被测器件的一次测试后,对所有的被测器件再次进行测试,直到满足测试结束的条件。
6.根据权利要求5所述的可靠性测试的方法,其特征在于,所述测试结束的条件是超过了预定的测试时间、超过了预定的测试次数、或者测量得到的性能参数达到了预定的目标值。
7.一种可靠性测试的装置,其特征在于,包括:
应力施加模块,与被测器件连接,对被测器件施加应力条件;
测量模块,与被测器件连接,测量被测器件的性能参数;
记录模块,记录被测器件的测量数据;
控制模块,控制所述应力施加模块同时对所有被测器件施加应力条件,在控制所述应力施加模块解除对前一被测器件施加的应力条件、控制所述测量模块测量所述前一被测器件的性能参数和控制所述记录模块记录所述前一被测器件的测量数据后,控制所述应力施加模块解除对后一被测器件施加的应力条件、控制所述测量模块测量所述后一被测器件的性能参数和控制所述记录模块记录所述后一被测器件的测量数据,其中,所述控制模块在预定的应力作用时间点控制应力施加模块解除对第一被解除应力条件的被测器件施加的应力条件。
8.根据权利要求7所述的可靠性测试的装置,其特征在于,所述记录模块记录的第一被解除应力条件的被测器件的测量数据包括被测器件的性能参数和测量时间,所述记录模块记录的其它被测器件的测量数据包括被测器件的性能参数、测量时间和对应的应力作用时间。
9.根据权利要求8所述的可靠性测试的装置,其特征在于,所述被测器件的测量时间是所述被测器件测量完后的时间点,所述被测器件的对应的应力作用时间是前一被测器件测量完后的时间点。
10.根据权利要求8所述的可靠性测试的装置,其特征在于,所述被测器件的测量时间是测量所述被测器件所使用的时间,所述被测器件的对应的应力作用时间是该被测器件被解除应力条件之前的测量被测器件所使用的时间总和与预定的应力作用时间的和。
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