[发明专利]多产品硅片测试方法有效
| 申请号： | 200710094449.9 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101458296A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 缪小波;陈婷;黄海华 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073;G01R3/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周 赤 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多产品硅片测试方法，找出多产品硅片测试对象中排布具有规律的最小单元；确定该单元内所有测试对象需要制作探针的坐标位置，并将所有测试对象所需要的探针作为一个集合，制作出对上述整个单元进行同时测试的探针卡；以上述最小单元为单位，安排遍历全硅片的路径，设计完成品种参数；对被测对象的位置进行映射，将该单元内的测试对象转化为测试仪支持的规则排布，完成测试结果与对应测试对象的对应关系；使用Application同测的方式，对硅片进行测试，并将测试结果映射回到原先的每个测试对象上，完成多产品硅片的测试。采用该方法能对多产品的多个测试对象同测，能有效提高多产品硅片的测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 产品 硅片 测试 方法 | ||
【主权项】：
1、一种多产品硅片测试方法，其特征在于，包括以下步骤：(1). 找出多产品硅片测试对象中排布具有规律的最小单元；(2). 确定该单元内所有测试对象需要制作探针的坐标位置，并将所有测试对象所需要的探针作为一个集合，制作出对上述整个单元进行同时测试的探针卡；(3). 以上述最小单元为单位，安排遍历全硅片的路径，设计完成品种参数；(4). 将被测对象的位置进行映射，将该单元内的测试对象转化为测试仪支持的规则排布，完成测试结果与对应测试对象的对应关系；(5). 使用Application同测的方式，对硅片进行测试，并将测试结果映射回到原先的每个测试对象上，完成多产品硅片的测试。
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