[发明专利]电子发射元件,电子源以及图像显示装置的制造方法无效
| 申请号： | 200710091803.2 | 申请日： | 2003-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN101075516A | 公开（公告）日： | 2007-11-21 |
| 发明（设计）人： | 水野祐信;岩城孝志;武田俊彦;铃木朝岳;宫崎和也;糠信恒树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02;H01J9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 许海兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种电子发射元件的制造方法，具有：对高分子膜进行低阻化的同时作为碳膜的工序，其中上述高分子膜配置成连接配置于基体上的一对电极；以及通过使电流流过上述碳膜从而在上述碳膜的、上述一对电极中的一个电极附近形成间隙的工序，对上述高分子膜进行低阻化的工序为向上述高分子膜照射光或粒子束以便对于其电传导的激活能量成为0.3eV以下的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 发射 元件 以及 图像 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子发射元件的制造方法，具有：对高分子膜进行低阻化的同时作为碳膜的工序，其中上述高分子膜配置成连接配置于基体上的一对电极；以及通过使电流流过上述碳膜从而在上述碳膜的、上述一对电极中的一个电极附近形成间隙的工序，对上述高分子膜进行低阻化的工序为向上述高分子膜照射光或粒子束以便对于其电传导的激活能量成为0.3eV以下的工序。
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