[发明专利]制造磁头的方法无效

专利信息
申请号: 200710091409.9 申请日: 2007-03-28
公开(公告)号: CN101046972A 公开(公告)日: 2007-10-03
发明(设计)人: 远藤浩;若林泰浩;江口伸;山本保;矢野映 申请(专利权)人: 富士通株式会社
主分类号: G11B5/39 分类号: G11B5/39;G11B5/31
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 陈晨
地址: 日本神奈*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明公开一种制造磁头的方法,包括步骤:在下电极的第一区域上方形成磁阻效应膜,该磁阻效应膜的上表面上方形成有第一抗抛光膜,该第一抗抛光膜对于磁性材料具有抛光选择性;在下电极的包括第一区域的整个表面上方形成磁畴控制膜;利用第一抗抛光膜作为阻挡层,通过抛光去除磁阻效应膜上方的磁畴控制膜,以选择性地将磁畴控制膜保留在与第一区域相邻的第二区域中;去除第一抗抛光膜;以及在已去除第一抗抛光膜的磁阻效应膜上方形成上电极。
搜索关键词: 制造 磁头 方法
【主权项】:
1、一种制造磁头的方法,包括步骤:在下电极的第一区域上方形成磁阻效应膜,该磁阻效应膜的上表面上方形成有第一抗抛光膜,该第一抗抛光膜对于磁性材料具有抛光选择性;在下电极的包括第一区域的整个表面上方形成磁畴控制膜;利用第一抗抛光膜作为阻挡层,通过抛光去除磁阻效应膜上方的磁畴控制膜,以选择性地将磁畴控制膜保留在与第一区域相邻的第二区域中;去除第一抗抛光膜;以及在已去除第一抗抛光膜的磁阻效应膜上方形成上电极。
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