[发明专利]用于涂敷衬底的溅射室无效
| 申请号： | 200710089558.1 | 申请日： | 2007-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN101045987A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 罗兰·特拉斯里;迈克尔·格斯勒;艾伯特·卡斯特奈尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料合资有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 德国阿*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于对衬底进行涂敷的溅射室，其中消除或至少大大减小了所谓的“图片框效应”。因此衬底边缘处的涂层厚度不再明显偏离衬底中央处的涂层厚度。这是通过用附加的惰性气体或活性气体来对引入溅射室中的一种或几种处理气体的反面效果进行平衡来实现的。从而在待涂敷的衬底边缘处以及背对阴极的衬底侧产生附加气流，所述附加气流被导向为与处理气体流相反。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种用于对衬底(8)进行涂敷的溅射室(1)，包括位于所述衬底(8)上方沿朝向所述衬底(8)的方向输出气流的第一气体入口(28、29)以及设置为与所述衬底(8)大致相同高度的额外气体入口(33、34、37-40)，其特征在于，所述气体入口(28、29；33、34、37-40)的气流被定向成彼此相反并在待涂敷的所述衬底(8)边缘处叠加。
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