[发明专利]等离子体处理装置无效
| 申请号： | 200710086097.2 | 申请日： | 2007-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN101035405A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木和男;南雅人;东条利洋 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/02;H01J37/32;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供尽管处理容器大型化或高频电源的进一步高频率化但等离子体的面内均匀性高，温度控制容易的等离子体处理装置。在等离子体处理装置的处理容器(2)和由以覆盖该处理容器(2)的壁部的方式设置的导电体构成的内壁板(6)之间连接有阻抗调整部(60)，使从作为阴极电极的下部电极(5)经过等离子体、内壁板(6)和处理容器(2)的壁部到作为接地框体的匹配箱(42)的阻抗值，大于从下部电极(5)经过等离子体、作为阳极电极的上部电极(3)、处理容器(2)到作为接地框体的匹配箱(42)的阻抗值。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，用于在处理容器内利用高频电力将处理气体等离子体化，由该等离子体对基板进行处理，其特征在于：具备：在该处理容器内与该处理容器绝缘，并且相互相对设置的阴极电极和阳极电极；其一端经过匹配电路与所述阴极电极连接的高频电源；在该处理容器的壁部上以与该处理容器绝缘，并覆盖该壁部的方式设置的由导电体构成的内壁板；和其一端侧与内壁板连接，并且另一端侧与所述处理容器连接的阻抗调整部，其中，基板被载置在所述阴极电极和阳极电极中的任一电极上，所述阻抗调整部用于调整其阻抗值，使得从阴极电极经过等离子体、内壁板和处理容器的壁部直到所述匹配电路的接地框体的阻抗值大于从阴极电极经过等离子体、阳极电极和处理容器的壁部直到所述匹配电路的接地框体的阻抗值。
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