[发明专利]具有转台的加工装置有效
| 申请号： | 200710084461.1 | 申请日： | 2007-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN101028700A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 桑名一孝;木崎清贵 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪斯科 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B37/04;B24B41/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈英俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是实现具有转台的加工装置的小型化。该加工装置的转台座(60)具有可旋转地支承转台(20)的外周部(20b)的外周支承部(61)、以及可旋转地支承转台(20)的旋转中心的中心支承部(62)，连结在卡盘台(18、19)的多个线缆(100)的延伸部(100A)被收放在外周支承部(61)的内侧形成的线缆收放室(67)内。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 转台 加工 装置 | ||
【主权项】：
1、一种具有转台的加工装置，具有：保持晶片的卡盘台、支承2个以上该卡盘台的转台、支承该转台的转台座、以及对保持在上述卡盘台上的晶片实施加工的加工机构，其特征在于，上述转台座具有可旋转地支承上述转台的外周部的外周支承部、以及可旋转地支承上述转台的旋转中心的中心支承部，连结在上述卡盘台的多条线缆收放在上述外周支承部的内侧形成的线缆收放室内。
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