[发明专利]太阳能电池激光标刻设备

摘要

本发明涉及用激光标刻太阳能电池的设备，属于非晶硅薄膜太阳能电池加工领域。本发明以提高太阳能电池的标刻速度和精度为目的。技术特征在于由计算机程序控制X－Y轴精密电控平移工作台和激光振镜扫描系统分时工作。当X－Y平移时，固定在Z轴轨道上的激光振镜扫描停止。激光振镜扫描系统的反射镜由振镜电机控制其偏转角度，而振镜电机的偏转是由计算机通过D/A卡来控制，使聚光斑按照计算机设定的图性、文字、及直线轨迹运行。其效果，高速大幅面标刻非晶硅薄膜太阳能电池，最大线速度400m/min，复杂图形。机械平台重量及运行速度不会影响微小标刻路径的精度，生产效率高，成本低。

主权项

1.太阳能电池激光标刻设备，包括由计算机控制的机械工作台和激光发生器，其特征还包括计算机程序分时控制：基片工作台，沿X或Y轴向平移，工作台悬臂上的激光振镜扫描系统静止不动；到达标刻区域后启动激光振镜扫描系统，导入标刻图形，在标刻区域内标刻基片。