[发明专利]表面等离子体共振与柔性平板波联合探测生物传感器

摘要

本发明涉及一种适用于临床检验、药物筛选、环境、食品检验等领域生物亲和性反应特性检测的表面等离子体共振与柔性平板波联合探测生物传感器，它是由光学传感部件和声波传感部件组合而成，在光学传感部件和声波传感部件之间有一可承载被检测物的样品池。采用该生物传感器可在同一试验条件下实现对被测物的多参数测量，极大提高生物反应物理表征的准确度。

主权项

1.一种表面等离子体共振与柔性平板波联合探测生物传感器，其特征在于是由光学传感部件和声波传感部件组合而成，所述的光学传感部件是由一半圆柱形棱镜(1)、贴置在该棱镜玄面上的光学硼硅玻璃片(2)和镀敷在该光学硼硅玻璃片(2)外侧面中部的金薄膜(9)构成；所述的声波传感部件是由硅薄膜(6)、在硅薄膜(6)的底面上铺设的铝地层(4)、在铝地层(4)上铺设的氮化铝压电薄膜(5)和在氮化铝压电薄膜(5)外表面上铺设的叉指形电极(7)构成；所述的贴置在半圆柱形棱镜(1)表面上的光学硼硅玻璃片(2)同所述的硅薄膜(6)周围凸起的硅片(3)键合封装为一体，由硅薄膜(6)和镀有金薄膜(9)的光学硼硅玻璃片(2)之间围成一可承载被检测物的样品池(8)，并使所述的金薄膜(9)处在该样品池(8)中；硅片(3)上设有贯通样品池(8)的微流体出、入口(10、11)，微流体出、入口通过微通道(12)与样品池(8)相连。