[发明专利]光学镀膜膜厚反射率的测量及显示方法

摘要

本发明涉及一种用于光学镀膜监控的光学镀膜膜厚反射率的测量及显示方法，它是利用计算机快速准确的数据处理功能，对薄膜蒸镀过程中反射率的变化进行在线测量和实时显示，并依据镀膜曲线峰值或谷值点的反射率值精确地确定蒸镀停止点。使用该方法，可以直观、精确地观察当前膜层蒸镀过程，更加快速地计算峰值点处光学基件的实际折射率和实际蒸镀膜厚，并能准确地确定和控制镀膜的停止点，从而获得高精密度的光学镀件。

主权项

1、种光学镀膜膜厚反射率的测量及显示方法，其特征在于：它包括以下步骤：(1)将反射率运算模型及当前膜层的理论镀膜曲线导入计算机处理软件；(2)当蒸镀监控开始后，将投光系统投射并经镀膜比较片反射的光信号通过光电转换及信号处理转换为电压信号；(3)由计算机驱动数据采集卡采集当前膜厚下的电压值，并传输给数据处理软件；(4)由计算机数据处理软件根据初始反射率、初始电压值和当前膜厚下的电压值计算出当前膜厚下的反射率，并在计算机屏幕上实时显示反射率变化曲线。(5)由计算机根据实时反射率的变化曲线对理论镀膜曲线进行修正，同时绘制实际镀膜曲线；(6)当监测实际镀膜曲线进行到第一个峰值(高折射率膜料)或谷值(低折射率膜料)时，计算机根据实时反射率值运算确定蒸镀停止点的反射率值；(7)当实时反射率值达到蒸镀停止点的数值时，由计算机操作系统控制晶控，停止蒸镀。