[发明专利]静电驱动的焦点可变微平面镜及其制造方法无效
| 申请号： | 200710046921.1 | 申请日： | 2007-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN101135772A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;张俊峰 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种光学器件技术领域的静电驱动的焦点可变微平面镜及其制造方法。本发明平面镜包括：底座、底座上固定的环形电极、Si基板、可动电极和微平面镜镜面，环形电极与可动电极通过Si－Au共晶合金键合并形成一个为可动电极提供形变空间的气隙，可动电极与Si基板相连，当固定的环形电极和可动电极之间施加电压时，产生的法向静电力驱动可动电极向下面的环形电极方向运动形成一个凹面，微平面镜镜面设置在可动电极上。制造方法为：①平面镜部分的制作工艺；②底座部分的制作工艺；③环形电极与可动电极的Si－Au共晶合金键合。本发明只需通过改变施加的外加电压的大小就可快速准确的调节微平面镜焦点，比以往的微平面镜结构更简单，更容易阵列化和变焦控制。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 焦点 可变 平面镜 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种静电驱动的焦点可变微平面镜，包括：底座、底座上固定的环形电极、Si基板、可动电极和微平面镜镜面，其特征在于，环形电极与可动电极通过Si-Au共晶合金键合并形成一个为可动电极提供形变空间的气隙，可动电极与Si基板相连，当固定的环形电极和可动电极之间施加电压时，产生的法向静电力驱动可动电极向下面的环形电极方向运动形成一个凹面，微平面镜镜面设置在可动电极上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710046921.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：结晶抑制剂及其在明胶胶囊中的用途
- 下一篇：移动体的行进设备和其控制方法
