[发明专利]建立测量程式的方法及系统、测量方法有效
| 申请号： | 200710046304.1 | 申请日： | 2007-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN101393569A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 黄旭鑫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种建立测量程式的方法，包括：提供版图，在所述版图中确定待测量图形；通过所述版图的数据文件获得所述待测量图形的位置信息；模拟所述待测量图形转移到半导体衬底上的图像；将所述位置信息、模拟获得的图像输入至与测量操作命令组合连接的数据库，生成测量程式。本发明还提供一种建立测量程式的系统。本发明还提供一种测量方法。该方法建立测量程式时不必依赖于具有待检测图形的半导体衬底，较为简单，且节省时间，提高测量设备的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 建立 测量 程式 方法 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
1、一种建立测量程式的方法，其特征在于，包括:提供版图，在所述版图中确定待测量图形；通过所述版图的数据文件获得所述待测量图形的位置信息；模拟所述待测量图形转移到半导体衬底上的图像；将所述位置信息、模拟获得的图像输入至与测量操作命令组合连接的数据库，生成测量程式。
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