[发明专利]用于掩模对准的透射对准标记组合及其掩模对准方法有效
| 申请号： | 200710046156.3 | 申请日： | 2007-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN101140423A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 李焕炀;陈勇辉;宋海军;周畅 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于掩模对准的透射对准标记组合及其掩模对准方法，通过采用两个方向相互垂直、按照一定间距交叉分段的细分光栅交错分布成两个组群，构成掩模对准标记分支，在工件平面处用近似其空间像分布的传感器标记进行对准扫描，探测透过上述掩模对准标记分支中光栅的偏振态随位置的变化和透射辐射的能量有关的信息；用所获得的对准辐射信息和工件台及掩模的位置信息，逐级获得高精度的对准位置，建立掩模图形相对工件台坐标系的空间位置。采用本发明的标记组合及其对准方法，可提高标记的捕获能力、对准精度以及对准扫描的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 对准 透射 标记 组合 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于掩模对准的透射对准标记组合，包括位于掩模上的第一和第二对准标记分支，以及位于工件台基准板上与所述第一和第二对准标记分支配合使用的第三和第四对准标记分支，其特征在于：所述的第一和第三对准标记分支分别由两组光栅构成，所述的两组光栅相互垂直布置；每组光栅进一步包括若干个光栅标记，这些光栅标记以一定的间距分段错位排列；所述的第二和第四对准标记分支为方形透射孔。
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