[发明专利]层间粘附力的检测方法及检测试片制作方法有效
| 申请号： | 200710044344.2 | 申请日： | 2007-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101354335A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 徐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种层间粘附力的检测方法及检测试片制作方法，其中检测方法包括步骤：提供待检测试片，且所述待检测试片上具有第一薄膜和第二薄膜；确定所述待检测试片的应力状态；确定要生长的第三薄膜的工艺条件；在所述待检测试片上生长第三薄膜；形成检测试片，且所述检测试片处于张应力状态；利用四点弯曲法检测所述第一薄膜和第二薄膜间的粘附力。本发明的检测方法及检测试片制作方法，通过确保检测试片处于张应力状态，增大了利用四点弯曲法对两层薄膜间的粘附力进行检测的可行性，提高了检测结果的重复性和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 粘附 检测 方法 试片 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种层间粘附力的检测方法，其特征在于，包括步骤：提供待检测试片，且所述待检测试片上具有第一薄膜和第二薄膜；确定所述待检测试片的应力状态；确定要生长的第三薄膜的工艺条件；在所述待检测试片上生长第三薄膜；形成检测试片，且所述检测试片处于张应力状态；利用四点弯曲法检测所述第一薄膜和第二薄膜间的粘附力。
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