[发明专利]醇热辅助铁电薄膜的低温制备方法无效
| 申请号： | 200710044211.5 | 申请日： | 2007-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN101100749A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 翟继卫;徐金宝 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C18/00;C23C14/14;C23C14/34;C04B35/624 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟;许亦琳 |
| 地址： | 200092上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于采用溶胶-凝胶法制备非铅系铁电薄膜技术领域。本发明所述的醇热辅助铁电薄膜的低温制备方法是：将涂覆好的薄膜浸渍在120-300℃的醇溶液中处理10～30小时，压力2-5MPa，然后溅射上电极。本发明的醇热反应条件比较温和、调整温度的范围也比较宽，能耗较低。可以通过对反应温度、时间和压力，溶液的组成以及溶液pH值等因素的调节有效的控制反应和晶体生长进程，从而得到理想的材料。同时有效的避免传统的直接利用水热法在钛基底上低温制备铁电薄膜时所造成的成分梯度与成分不均的现象，从而起到有效改善材料性能的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 辅助 薄膜 低温 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种醇热辅助铁电薄膜的低温制备方法，其步骤是：将涂覆好的薄膜浸渍在120-300℃的醇溶液中处理10～30小时，压力2-5Mpa，然后溅射上电极。
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