[发明专利]一种全折射投影光学系统有效
| 申请号： | 200710040304.0 | 申请日： | 2007-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN101063743A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 蔡燕民 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B9/04;G02B1/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种全折射投影光学系统，用于将物平面内的图形成像到像平面内。所述的全折射投影光学系统分为前组和后组，并以孔径光阑为对称面。前组包括第一到第六透镜，其中第一透镜、第二透镜和第三透镜构成反远距结构；后组沿光轴依次包括第七到第十二透镜，分别与第六到第一透镜关于孔径光阑对称；且所述的全折射投影光学系统中所有表面类型为球面或平面，不包含非球面。采用本发明的全折射投影光学系统，不仅能有效地校正像差，增加工作距，提升成像质量；而且由于接近像面的第十二透镜后表面为平面，可以为采用所述全折射投影光学系统的光刻机的调焦调平系统提供测量参考平面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 折射 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
1、一种全折射投影光学系统，沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组，其特征在于：所述的前组由第一到第六透镜(L1～L6)组成，其中第一透镜(L1)、第二透镜(L2)和第三透镜(L3)构成反远距结构；所述的后组由第七到第十二透镜(L7～L12)组成，其中第十二透镜(L12)、第十一透镜(L11)和第十透镜(L10)构成反远距结构；所述的前组透镜(L1～L6)和后组透镜(L12～L7)关于孔径光阑完全对称，且所述每一透镜的光学表面均为球面或平面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710040304.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
