[发明专利]一种全折射投影光学系统有效
| 申请号： | 200710040304.0 | 申请日： | 2007-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN101063743A | 公开（公告）日： | 2007-10-31 |
| 发明（设计）人： | 蔡燕民 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B9/04;G02B1/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 折射 投影 光学系统 | ||
1、一种全折射投影光学系统，沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组，其特征在于:所述的前组由第一到第六透镜(L1～L6)组成，其中第一透镜(L1)、第二透镜(L2)和第三透镜(L3)构成反远距结构；所述的后组由第七到第十二透镜(L7～L12)组成，其中第十二透镜(L12)、第十一透镜(L11)和第十透镜(L10)构成反远距结构；所述的前组透镜(L1～L6)和后组透镜(L12～L7)关于孔径光阑完全对称，且所述每一透镜的光学表面为球面或平面；所述第一透镜(L1)和第十二透镜(L12)是平凹透镜，且凹面正对孔径光阑；所述第二透镜(L2)和第十一透镜(L11)是弯月厚透镜，且凹面背对着孔径光阑；所述第三透镜(L3)和第十透镜(L10)是平凸透镜，且凸面正对孔径光阑；所述第四透镜(L4)和第九透镜(L9)是双凸透镜；所述第五透镜(L5)和第八透镜(L8)是双凹透镜；所述第六透镜(L6)和第七透镜(L7)是双凸透镜。
2、如权利要求1所述的全折射投影光学系统，其特征在于:所述的第一透镜(L1)和第十二透镜(L12)选择高折射率、高色散的火石玻璃。
3、如权利要求1所述的全折射投影光学系统，其特征在于:所述的第二透镜(L2)和第十一透镜(L11)选择低折射率、低色散的冕牌玻璃。
4、如权利要求1所述的全折射投影光学系统，其特征在于:所述的第三透镜(L3)和第十透镜(L10)选择高折射率、高色散的火石玻璃。
5、如权利要求1所述的全折射投影光学系统，其特征在于:所述的第四透镜(L4)和第九透镜(L9)选择低折射率、低色散的冕牌玻璃。
6、如权利要求1所述的全折射投影光学系统，其特征在于:所述的第五透镜(L5)和第八透镜(L8)选择高折射率、高色散的火石玻璃。
7、如权利要求1所述的全折射投影光学系统，其特征在于:所述的第六透镜(L6)和第七透镜(L7)选择高折射率、高色散的火石玻璃。
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