[发明专利]一种基于金属基板的场发射显示器栅极板及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 200710028832.4 | 申请日： | 2007-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101083198A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 陈军;杨国威;许宁生;邓少芝 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01J29/02 | 分类号： | H01J29/02;H01J29/46;H01J1/46;H01J9/14;H01J31/12 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 华辉 |
| 地址： | 510275广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于金属基板的场发射显示器栅极板及其制备方法和应用。本发明采用金属材料作为栅极基板，结合薄膜和厚膜工艺制备FED栅极板。该方法主要包括以下的工艺步骤：首先，在金属基板上制作栅极孔阵列，并对基板表面进行表面抛光处理；然后分别在基板上制备薄膜绝缘层和厚膜绝缘层；最后，利用在绝缘层上制备栅极金属电极条。本发明的基于金属基板的栅极板适用于大面积高分辨场发射显示器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 发射 显示器 栅极 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于金属基板的分立结构FED栅极板，其特征在于：所述的栅极板以金属板为基板，基板上开有贯通的基板的栅极孔阵列，在金属基板的上、下表面及栅极孔的孔壁均覆盖绝缘层，在绝缘层上制备有金属栅极电极。
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