[发明专利]超高真空磁控溅射矩形平面溅射靶

摘要

本发明公开了一种超高真空磁控溅射矩形平面溅射靶。它包括贯穿安装法兰(1)的、与靶屏蔽罩(3)内的水冷腔部件(5)相连接的冷却水管(6)，特别是(a)冷却水管(6)经冷却水管密封部件(2)与安装法兰(1)相连接；(b)水冷腔部件(5)为水冷腔上、下法兰(511，512)经密封圈(52)和螺钉(53)连接，水冷腔下法兰(512)内置有软铁(58)和永磁铁(54)，冷却水管(6)贯穿其底部后与其焊接连通连接，螺母(57)经冷却水管(6)外螺纹与其外套装的绝缘套垫(56)相抵压连接；(c)矩形平面溅射靶还包括一个以上的支撑螺杆(10)和与其配接的支撑螺杆密封部件(7)。它的真空度高达6×10^－6Pa以上，可用于大表面积工件的高质量镀膜。

主权项

1、一种超高真空磁控溅射矩形平面溅射靶，包括安装法兰(1)和贯穿安装法兰(1)的冷却水管(6)，以及与冷却水管(6)相连接的位于靶屏蔽罩(3)内的水冷腔部件(5)，所说水冷腔部件(5)内置有软铁和永磁铁，其特征在于：(a)所说冷却水管(6)经冷却水管密封部件(2)与安装法兰(1)相连接，所说冷却水管密封部件(2)的法兰凸台(27)的内腔颈口处的两端面依次分别置有套装于冷却水管(6)外的○形密封圈(262，261)和绝缘套垫(221，222)，上紧固螺母(211)和下紧固螺母(212)经冷却水管(6)外螺纹分别与绝缘套垫(221，222)相抵压连接，所说○形密封圈(262，261)间的腔室(23)的法兰凸台(27)璧上置有抽气通孔(24)；(b)所说水冷腔部件(5)包含相连接的水冷腔上法兰(511)、水冷腔下法兰(512)和冷却水管(6)，其中，所说水冷腔上法兰(511)与所说水冷腔下法兰(512)经密封圈(52)和螺钉(53)密封连接，所说水冷腔上法兰(511)的上端经螺钉(50)连接有靶材(4)，所说水冷腔下法兰(512)的腔体内置有软铁(58)和其上设置的永磁铁(54)，所说软铁(58)经螺钉(55)与水冷腔下法兰(512)连接，所说冷却水管(6)贯穿所说水冷腔下法兰(512)的底部后与其焊接连通连接，螺母(57)经冷却水管(6)外螺纹与其外套装的绝缘套垫(56)相抵压连接，所说绝缘套垫(56)与水冷腔下法兰(512)、靶屏蔽罩(3)和冷却水管(6)相抵压绝缘连接；(c)所说矩形平面溅射靶还包括一个以上的支撑螺杆(10)和与其配接的支撑螺杆密封部件(7)，其中，所说支撑螺杆(10)一端的端面与所说水冷腔部件(5)抵接，端部经其外套装的绝缘套垫(8)和固定螺母(9)与靶屏蔽罩(3)相抵压绝缘连接、另一端经支撑螺杆密封部件(7)与安装法兰(1)相连接，所说支撑螺杆密封部件(7)为上紧固螺母(71)和下紧固螺母(73)经支撑螺杆(10)的螺纹与位于其间的、套装于支撑螺杆(10)另一端外表面的绝缘套垫(74)相抵压连接，所说绝缘套垫(74)与支撑螺杆(10)、安装法兰(1)相抵压绝缘连接，连接处的安装法兰(1)下罩有经螺钉(76)和密封圈(77)与其相密封连接的支撑螺杆密封盒(75)，所说支撑螺杆密封盒(75)罩住的安装法兰(1)上置有抽气通孔(72)。