[发明专利]一种具有NH3气体敏感效应的碳/硅异质结材料无效
| 申请号： | 200710013468.4 | 申请日： | 2007-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN101013098A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 薛庆忠;高熙礼;郝兰众;郑庆彬;李群 | 申请（专利权）人： | 中国石油大学（华东） |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所 | 代理人： | 杨大兴 |
| 地址： | 257061山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有NH3气体敏感效应的碳/硅异质结新材料，该材料是通过磁控溅射的方法，将纯度为99.9％的石墨靶或者将含有0～10％(质量分数)的铁的铁－石墨复合靶溅射到抛光的硅基片上，形成一层厚度为20nm～200nm的膜。该碳/硅异质结新材料具有明显的NH3气体敏感效应，可以用于制备NH3气敏传感器，在室温下工作，无须加热器，易实现器件的微型化、集成化，且灵敏度高、响应时间短、稳定性好，生产工艺简单，成本低，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 nh sub 气体 敏感 效应 硅异质结 材料 | ||
【主权项】：
1.一种具有NH3气体敏感效应的碳/硅异质结新材料，其特征是，在一块0.5～1.0mm厚的抛光硅基片上，溅射一层类金刚石碳薄膜，薄膜的厚度为20～200nm。
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