[发明专利]图案形成方法、液滴喷出装置及取向膜形成装置无效
| 申请号： | 200710005723.0 | 申请日： | 2007-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101049757A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 岩田裕二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;B41J2/04;B41J3/407;B41J29/38;H01L51/00;G02F1/133 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案形成方法，将含有图案形成材料的液滴向衬底喷出从而在该衬底上形成图案。从在上述衬底的一面的上方沿一方向排列的多个第一喷出口，沿相对于上述衬底的法线倾斜的第一喷出方向喷出含有上述图案形成材料的第一液滴。从沿上述一个方向排列的多个第二喷出口沿第二喷出方向，向上述衬底上的上述第一液滴间的区域喷出含有上述图案形成材料的第二液滴。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 喷出 装置 取向 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成方法，其将含有图案形成材料的液滴朝向衬底喷出从而在该衬底上形成图案，其特征在于，包括：从在所述衬底的一面的上方沿一方向排列的多个第一喷出口，沿相对于所述衬底的法线倾斜的第一喷出方向喷出含有所述图案形成材料的第一液滴的步骤；从沿所述一方向排列的多个第二喷出口，将含有所述图案形成材料的第二液滴沿第二喷出方向朝向所述衬底上的所述第一液滴间的区域喷出的步骤。
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