[发明专利]外观检查装置

摘要

本发明提供一种外观检查装置，其能够在基板的、预先设定的位置获得图像、特别是对焦状态的图像，而不使用专用的校准机构或自动对焦装置。工作台(2)吸附保持晶片(1)。工作台旋转机构(3)旋转工作台(2)。第一摄像部(5)通过第一观察光学系统(4)拍摄晶片(1)、生成图像信号，第二摄像部(8)通过第二观察光学系统(7)拍摄晶片(1)、生成图像信号。利用图像处理部(101)和偏移量计算部(102)检测第二观察光学系统(7)的位置从第二摄像部(8)取得对焦时的位置偏移的偏移量。利用移动机构控制部(104)和第二移动机构(9)，根据该位置的偏移量，控制第二观察光学系统(7)相对于晶片(1)的相对位置。

主权项

1.一种外观检查装置，其特征在于，所述外观检查装置具有：保持单元，其可旋转地保持基板；第一和第二观察光学系统，其用于观察所述基板；第一摄像单元，其通过所述第一观察光学系统，从第一方向拍摄所述基板，生成第一图像信号；第二摄像单元，其通过所述第二观察光学系统，从不同于所述第一摄像单元的第二方向拍摄所述基板，生成第二图像信号；位置偏移检测单元，其检测所述基板的位置从所述第一摄像单元所拍摄的图像上的预先设定的位置偏移的偏移量；以及相对位置控制单元，其根据所述位置偏移检测单元所检测的所述位置的偏移量，控制所述第二观察光学系统相对于所述基板的相对位置。