[发明专利]电容式麦克风无效
| 申请号： | 200710005408.8 | 申请日： | 2007-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101048016A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 森三佳;上田大助 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/01 | 分类号： | H04R19/01;H04R19/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明在于，提供一种制造率优良、小型高感度的驻极体电容式麦克风(驻极体电容式麦克风)。其构成为上部电极23和下部电极13在中空部16相向的空气隙电容构造，电极间形成有作为电荷保持材料的驻极体膜20。驻极体电容式麦克风10，和半导体衬底11一体形成，驻极体膜20，由全氟代非晶质氟素聚合体树脂构成。由这样的材料构成的驻极体膜20，由于能够在衬底11上通过旋转涂布法形成，因此容易薄膜化，而且，能够以在半导体制造工艺所使用的氟系气体容易地进行蚀刻法，因此，能够进行细微加工，缩小电容器面积。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种电容式麦克风，是由驻极体膜在振荡电极膜及固定电极膜之间形成而构成，其特征在于：所述电容式麦克风，是和半导体衬底一体形成，所述驻极体膜，是由全氟代非晶质氟素聚合体树脂或苯并环丁烯构成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松下电器产业株式会社，未经松下电器产业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710005408.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：铅离子吸附剂聚间苯二胺的解吸与循环使用方法
- 下一篇：节能传动机
