[发明专利]具有用于感测其姿态的设备的烘烤单元及其使用方法有效
| 申请号： | 200710004401.4 | 申请日： | 2007-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN101086630A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 朴圣和 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/40;G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 林宇清;谢丽娜 |
| 地址： | 韩国京畿道水*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 在光刻设备中使用的烘烤单元，具有感测器件，用于感测烘烤单元的组件是否水平并且在烘烤的内表面上是否有粒子。感测器件具有传感器单元和光学元件。传感器单元优选地安装到烘烤单元的加热板上，并包括光发射器和光检测器。光学元件优选地在当加热板和盖子水平时，以及在光学元件上没有粒子时，光学元件将发射自光发射器的光反射/折射到光学检测器的位置上，安装到烘烤单元的盖子上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用于 姿态 设备 烘烤 单元 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种烘烤单元，包括：加热板，用于支撑衬底；盖子，设置在加热板之上，使得在盖子和加热板之间限定加热衬底的空间；以及感测器件，包括安装在加热板和盖子之一上的传感器单元，以及安装在加热板和盖子的另一个上的光学元件，传感器单元包括发射光的光发射器以及检测由光发射器发出的类型的光的光检测器，并且相对于传感器单元定位光学元件，使得当烘烤单元处于正常状态下时，光学元件接收从光发射器发出的光，并将所接收光的预设量发送到光检测器。
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