[发明专利]微机电系统元件阵列器件和成像装置

摘要

一种微机电系统元件阵列器件，其中每一个都具有可移动部分的多个微机电系统元件按照阵列排列，由向传导部分施加电信号而产生的物理力使所述可移动部分发生位移，每一个微机电系统元件都基于针对所述微机电系统元件的位移数据来驱动所述微机电系统元件的可移动部分和使其发生位移，其中所述器件包括：于此限定的电信号产生单元；于此限定的开关单元；以及于此限定的选择单元。

主权项

1.一种微机电系统元件阵列器件，其中每一个都具有可移动部分的多个微机电系统元件按照阵列排列，由向传导部分施加电信号而产生的物理力使所述可移动部分发生位移，每一个微机电系统元件都基于针对所述微机电系统元件的位移数据来驱动所述微机电系统元件的可移动部分和使其发生位移，其中所述器件包括：电信号产生单元，针对所述微机电系统元件共同设置；开关单元，针对每一个微机电系统元件设置，所述开关元件用于将所述电信号产生单元与所述微机电系统元件的所述传导部分相连，以及用于将所述电信号产生单元与所述微机电系统元件的所述传导部分断开；以及选择单元，针对每一个微机电系统元件设置，所述选择单元用于基于所述位移数据而打开和闭合所述开关单元，从而通过所述闭合的开关单元把来自所述电信号产生单元的电信号施加到所述传导部分。